반도체 제조 장비 업계 글로벌 선도기업 도쿄일렉트론코리아(대표이사 원제형)가 경기도 화성시에 반도체 제조 공정의 주요 기술을 연구∙개발하는 거점인 TEL Technology Center Korea-2를 준공하고 가동에 나선다. 한국에서의 3번째 R&D 센터이다. 

도쿄일렉트론코리아는 17일 오전 정명근 화성시장과 가와이 토시키 도쿄일렉트론(TEL) CEO, 관계 기업인 등 2백여명이 참석한 가운데 TEL Technology Center Korea-2 준공식을 열었다고 밝혔다. 기존 화성사무소 옆에 세워진 TEL Technology Center Korea-2는 연면적 약 39,200m2 규모로 각종 시설과 장비를 갖추고 반도체 제조에 필요한 첨단 기술을 연구∙개발하게 된다. 

TEL은 일본 국내의 주요 개발 거점을 중심으로, 고객의 근처에서 속도감을 가지고 요구에 응하기 위해 세계적으로 연구개발 거점을 전개하고 있다. 고객과의 정보 공유 및 피드백 활성화를 통해 고객사 공정 개발 기간의 단축과 개발 평가 설비의 조기 양산 안정화에 공헌하고 있다. 

TEL Technology Center Korea-2는 고객을 위한 맞춤형 연구개발이 필요한 부분에서 고객의 웨이퍼(Wafer)를 가져와 가공하고(Send Fab) 공정 기술을 개발하는 중요한 역할을 담당한다.

또한 기존 단위 공정의 평가에서 벗어나 식각, 증착, 세정 등 여러 공정의 모듈화 개발을 추진하고, 개선이 필요한 부품에 대한 평가 작업도 진행한다. 나아가 고객사와 대학이 함께 참여하는 3자 협력 연구 방안도 추진 예정이다.

앞으로 1차 반입한 설비들의 설치를 최대한 신속히 완료해 고객사의 개발 평가를 지원하고, 고객과 지속적인 협업을 통해 연구개발 설비의 확충도 진행할 예정이다. 

한편, 도쿄일렉트론코리아는 부가가치가 높은 최첨단 장비 제공과 고객 가까이에서 요구하는 기술 및 서비스, 솔루션 등을 빠르고 지속적으로 창출해 중장기 이익 확대와 지속적인 기업가치 제고를 목표로 하고 있다. 또한, 이번 준공을 계기로 국내 연구개발 역량 강화와 관련 인재 육성, 고용 증가를 통해 국내 반도체 생태계에도 적극적으로 공헌해 갈 계획이다.

원제형 대표이사는 “우리가 아무리 좋은 장치를 만들어도 고객의 생산 프로세스에 맞지 않으면 의미가 없다”며 “고객과의 근접 거리에서 고객의 요구와 설비의 기능을 합치시켜, 신속하고 우수한 기술 개발 및 서비스 지원으로 반도체 산업의 기반 기술을 강화하겠다. 그런 의미에서 한국의 R&D 거점은 높은 가치를 갖고 있다”고 밝혔다.

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